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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆产出线配套设施的超蒸馏水设计,每天晚上引发含硅生产废水150吨。生产废水内虽无天价属,但硅分子量高易积灰,且电阻功率率需能够满足18MΩ·cm方可回收利用。现有整理工学艺無法能够满足新颁行的《电子设备制造业水造成的大气污染物直接排放规则规则》(GB39731-2020)格外直接排放规则规定值。 化工废水材料亮点 一般废弃物物 :固体硅(200-300mg/L)、粒状硅(比表面积0.1-1μm) 特种条件 :TOC<10μg/L,硼含量<5μg/L 饮用水属性 :低电阻率(<50μS/cm)但硅类化合物价值形式简化 正确处理的工艺步骤步骤 科学创新选取"梯级膜拆分+电去阳离子"搭配组合的工艺: 微滤预正确处理 :1μm陶瓷厂家膜屏蔽广告大粒状硅,通量稳定80LMH 铁离子交換光敏树脂 :D201大孔树酯选取性过滤硅酸分子结构 下级RO体统 :第1段环保再生资源回产出率60%,第十二段所采用高脱硼膜部件 EDI电去铁离子 :电流大小比热容2A/m²,继续清除残留铁离子 分光光度计杀菌消毒 :254nm红外光谱线摄入量40mJ/cm² 技木新亮点 开发建设专用箱阻硅剂(无机胺类符合物),推迟膜弄脏频次3倍 EDI引擎创新技术流道设计的,硅我们要除率升高至99.8% 网络硅浅析仪(量测使用范围0.1-500μg/L)满足精准脱贫管控 启动成效明显 经然后方判断: 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含量的从8μg/L调至0.3μg/L 平台收售率从原40%升降至68% 膜换新周期怎么算延缓至5年,年作业代价较低35%

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